Экспериментальные испытания. СВЧ обработка материалов. Институт прикладной физики РАН литограф. СВЧ-генераторах института прикладной физики РАН. Обработка микроволновыми лучами. Инновационный кластер. Москва инновации. Московский инновационный кластер. Московский инновационный кластер проект